您的当前位置:首页 > 综合 > ASML要慌:EUV光刻机新光源出现,成本降50%,功耗降80% 正文
时间:2024-07-01 18:21:04 来源:网络整理 编辑:综合
成都市喝茶高端定制-成都市喝茶上课微信-成都市高端茶预约
目前全球仅有ASML一家能够生产EUV光刻机,慌E耗降而制造7nm以下芯片,光刻光源又必须使用到EUV光刻机,机新降功所以ASML相当于卡住了全球先进晶圆厂的出现成本脖子。
于是慌E耗降ASML推出的1.5亿欧元的标准EUV光刻机,台积电等厂商不得不买,光刻光源后来再推出3.5亿欧元的机新降功High NA EUV光刻机,intel们继续买。出现成本
靠着这样不断升级EUV光刻机,慌E耗降ASML赚的光刻光源盆满钵满。
而为了垄断EUV光刻机生意,机新降功ASML将EUV光刻系统上的出现成本众多供应链,捆绑在了自己战车,慌E耗降收购的光刻光源收购,投资的机新降功投资,反正让其它竞争对手,没有合作的机会。
比如蔡司,比如TRUMPF、比如Cymer等,均绑上了ASML战车。
可以说,其它企业,如果想走ASML的路线来造EUV光刻机,基本没戏,除非换一条新道路,才有可能性。
而近日,这条新道路出现了,EUV光刻机中,最重要的EUV光源部分,有了新的解决方案,且新方案,比旧方案,成本更低,功率更高,技术更为先进。
旧方案中,产生EUV光线,是非常麻烦的,方案叫做”激光等离子体EUV光源(EUV-LPP)“,是用二氧化碳激光器,轰击锡金属液滴,将这些锡珠蒸发成等离子体,放射出极紫外线(EUV)了,再通过透镜,对EUV进行收集。
这个过程非常复杂,成本也非常高,同时功率转化率非常低,大约只有3-5%的转化率。所以现在的EUV光刻机都是电老虎,就是因为功率转化率非常低,最终能够使用的功率也低。
而新的方案叫做自由电子激光器(FEL),用这种方案,同样能够生产EUV光源,让来自电子加速器的电子束在波荡器中发光,然后再放大FEL光,得到EUV--FEL光源。
与旧方案相比,一旦成本低多了,不需要锡球,再用二氧化碳激光器来激发,同时功率转化损失也不会非常大。
按照说法,如果采用EUV FEL方案来制造光刻机,EUV光刻机的制造成本降了很多,可能只有原先的一半都不到。
更重要的是,因为功率转化高多了,不像以前只有3-5%,现在可以高达30%以上,后续EUV光刻机也不会成为电老虎,耗电量大大降低,变为原来的五分之一,都有可能。
不仅如此,EUV-FEL还可以升级为BEUV-FEL,产生更短的波长(6.6-6.7 nm),比EUV的13.5nm波长更知,这样分辨率更高,能制造更先进的芯片。
所以很多科学家表示,EUV-FEL光束明显更适合作为EUV光刻机的光源。
目前美国、日本已经有机构在研究这种EUV-FEL技术,按照说法,虽然短时间之内,还无法利用这个技术制造出EUV光刻机,但相信也不会太久了,也许三年、五年就能够制造出来了。
不知道ASML怎么看?一旦这种EUV光刻机面市,那么对整个EUV光刻机生态,将面临大洗牌,那么全球半导体格局都会发生巨大变化,不知道ASML慌不慌?
隔海观澜/从《繁花》到《庆馀年》 两岸文化交流挡不住\朱穗怡2024-07-01 18:04
广东队为什么打不过辽宁男篮?张明池赛后一番话,说得很实在2024-07-01 17:30
苏州首个民用无人机试飞基地迎来首飞2024-07-01 17:27
英超争冠变天:曼城7连胜登顶,最后2轮全胜=夺冠,阿森纳没戏了2024-07-01 16:55
日本男排创造历史,石川锁定最佳,东道主被淘汰,法国队体能惊人2024-07-01 16:51
东亚平民足球完胜西亚金元足球,亚冠横滨水手22024-07-01 16:28
好家伙!赵丽颖儿子都长这么大了?5岁想想长得超像妈妈赵丽颖!2024-07-01 16:16
优化投融资便利 满足港澳跨境结算2024-07-01 16:11
中超最新积分战报:申花补时绝杀,亚泰轰5球,山东泰山被打爆2024-07-01 16:02
惊人的社会定律(2024年必读)2024-07-01 15:51
斯帕莱蒂胆子真大!生死战直接弃用意大利队魂,一分钟都不让他2024-07-01 18:14
欧盟不再奉陪,瑞典央行打响第一枪,这次美国输的很彻底2024-07-01 18:06
恋爱六月,男友在亲吻时触碰私密,这种行为在恋爱中算正常吗?2024-07-01 17:53
宝妈嫌弃刚出生的儿子像发紫的老头,亲不下去嘴,评论笑死我了2024-07-01 17:40
美大选辩论如何安排 拜登要求确保特朗普无法抢话2024-07-01 17:29
杨丞琳回应《歌手2024》排名第六,称跟平时差很远,会攻克紧张2024-07-01 17:19
拜登心都碎了!美两大巨头许可被撤回,任正非说得很对2024-07-01 17:09
镇域经济500强发布 苏州两镇上榜前五2024-07-01 16:52
隔海观澜/从《繁花》到《庆馀年》 两岸文化交流挡不住\朱穗怡2024-07-01 16:12
恋爱六月,男友在亲吻时触碰私密,这种行为在恋爱中算正常吗?2024-07-01 15:59